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集成电路(DRAM)对EDI超纯水设备产水水质的要求

日期:12-11-26 来源:原创 作者:zqyb-water

集成电路(DRAM)集成度

16K

64K

256K

1M

4M

16M

相邻线距(μm)

4

2.2

1.8

1.2

0.8

0.5

细菌(CFU/100ML)

100

50

10

5

1

0.5

电阻率(MΩ.cm25)

16

17

17.5

18

18

18.2

TOC(ppb)

1000

500

100

50

30

10

DO(ppb)

500

200

100

80

50

10

Na+(ppb)

1

1

0.8

0.5

0.1

0.1

微粒直径(μm)

0.4

0.2

0.2

0.1

0.08

0.05

微粒个数(PCS/ml)

100

100

20

20

10

10