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电子级超纯水中国国家标准

日期:11-09-16 来源:原创 作者:zqyb-water

项目级别

电阻率

MΩ.cm

硅 ≤

μg/L

微粒数

</m l

细菌

</ml

≤μg/L

≤μg/L

镍≤

μg/L

钠≤

μg/L

钾 ≤ g/L

氧≤

μg/L

硝酸根≤μg/L

磷酸根

≤μg/L

硫酸根

≤μg/L

总有机碳

≤μg/L

EW-

18

2

0.1

0.001

0.2

0.2

0.1

0.5

0.5

1

1

1

1

20

EW-

15

10

5

0.1

1

1

1

2

2

1

1

1

1

100

                             
 

 

 

 

 

 

 

 

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